Предыстория клиента
Бесфабричная полупроводниковая компания, передающая на аутсорсинг производство чипов по передовым технологиям. Их существующая чистая комната не могла соответствовать строгим требованиям к вибрации и чистоте воздуха для иммерсионной литографии с длиной волны 193 нм, что приводило к потере выхода годных изделий.
Потребности и проблемы
· ISO класс 5 (класс 100) на поверхности пластины.
· Точный контроль температуры: 22 ± 0,1°C в зоне фотолитографии.
· Короткое время простоя: Всего 1 месяц доступен для модернизации существующей зоны.
Решение
· Проектирование мини-среды: Изолировали степпер с помощью блоков вентиляторов и фильтров (FFU) плюс химические фильтры для AMC. Достигнут класс ISO 4 внутри рабочей зоны инструмента.
· Активная виброизоляция: Бетонный инерционный блок + пневматические изоляторы для соответствия критериям VC-D.
· Высокоточная система ОВК: Двойные контуры охлажденной воды с повторным нагревом плюс терминалы с переменным объемом воздуха (VAV). Однородность температуры измерена как ±0,08°C.
· Сборные панели: Панели из нержавеющей стали, изготовленные вне площадки, с соединениями на кулачковых замках. Установлены во время плановой остановки на техническое обслуживание – завершено за 25 дней.
Отзыв клиента
“Янинг лучше других подрядчиков по чистым помещениям понял требования к нашим инструментам.”
— Менеджер по эксплуатации, клиент из полупроводниковой отрасли
Резюме
Янинг специализируется в области проектирования чистых помещений. Мы стремимся создавать чистые производственные среды, которые напрямую повышают эффективность производства. Наши модульные решения являются идеальным выбором для зон чистого производства в производственном секторе.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
